Silikon Wafer'lar İçin Temizleme Yöntemleri

Yarı iletken cihazların üretiminde, silikon gofretler kesinlikle temizlenmelidir. Kirlenmenin eser miktarları da cihaz arızasına neden olabilir. Temizlemenin amacı, organik ve inorganik maddeler de dahil olmak üzere yüzey kirliliğini ve safsızlıkları gidermektir. Bu safsızlıkların bazıları atomik veya iyonik halde bulunur ve bazıları silikon gofretin yüzeyinde ince filmler veya parçacıklar halinde bulunur. Organik kirlenme, fotorezist, organik çözücü kalıntıları, sentetik mumlar ve cihazlar, aletler ve mutfak eşyaları ile insan teması sonucu getirilen gres veya lifleri içerir. İnorganik kirlenme, azınlık taşıyıcı ömrünü ve yüzey iletkenliğini ciddi şekilde etkileyen altın, bakır, demir, krom vb. gibi ağır metalleri içerir; sodyum vb. gibi alkali metaller ciddi sızıntıya neden olur; partikül kirliliği, silikon cürufu, toz, bakteri, mikroorganizmalar, organik kolloidal lifler vb. içerir ve çeşitli kusurlara yol açabilir. Kirlenmeyi gidermenin iki yolu vardır: fiziksel temizlik ve kimyasal temizlik.